[实用新型]一种有机材料蒸发用坩埚及蒸镀装置有效
申请号: | 201620285865.1 | 申请日: | 2016-04-07 |
公开(公告)号: | CN205529006U | 公开(公告)日: | 2016-08-31 |
发明(设计)人: | 焦志强;孙力;尤娟娟;闫光 | 申请(专利权)人: | 京东方科技集团股份有限公司 |
主分类号: | C23C14/24 | 分类号: | C23C14/24;C23C14/12 |
代理公司: | 北京同达信恒知识产权代理有限公司 11291 | 代理人: | 黄志华 |
地址: | 100015 *** | 国省代码: | 北京;11 |
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摘要: | 本实用新型涉及蒸镀技术领域,公开一种有机材料蒸发用坩埚及一种蒸镀装置,其中,有机材料蒸发用坩埚包括本体结构,本体结构内部形成用于盛放蒸镀材料的蒸发空间;本体结构的内表面包括用于围成蒸发空间的底面和侧面,其中,底面为圆弧面。上述有机材料蒸发用坩埚,其蒸发空间的底部通过呈圆弧面的底面围成,在进行有机材料蒸镀的过程中,随着蒸发空间内有机材料的较少,蒸发空间内剩余的有机材料在蒸发空间底部相对于底面的分布几乎没有变化,即剩余有机材料的分布可以一直保持与热量的分布相匹配,因此,随着蒸发空间内有机材料的减少,剩余的有机材料的受热仍然会较均匀。因此,上述有机材料蒸发用坩埚可以避免有机材料在蒸镀过程中变性。 | ||
搜索关键词: | 一种 有机 材料 蒸发 坩埚 装置 | ||
【主权项】:
一种有机材料蒸发用坩埚,其特征在于,包括本体结构,所述本体结构内部形成用于盛放蒸镀材料的蒸发空间;所述本体结构的内表面包括用于围成所述蒸发空间的底面和侧面,其中,所述底面为圆弧面。
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