[实用新型]一种具有负压抽离系统的刻蚀清洗设备

摘要

本实用新型公开了一种具有负压抽离系统的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架，所述机架上设置有刻蚀水槽和清洗水槽，所述机架上设置有硅片输送装置，所述硅片输送装置从刻蚀水槽和清洗水槽中穿过，所述机架上设置有机罩，所述机架上且位于所述机罩内部设置有维修隔板，位于所述维修隔板后方的为维修区，所述维修隔板的前方设置有抽风调节板，所述抽风调节板的下端设置有下封板，所述维修隔板、下封板以及抽风调节板之间的空间为抽风通道，所述维修隔板上和抽风调节板上设置有与所述抽风通道相连通的抽风孔，所述抽风通道的出口与负压抽风设备入口连通。本实用新型可以有效防止酸性气体外溢，使得设备更加安全可靠也更加环保。

主权项

一种具有负压抽离系统的刻蚀清洗设备，所述刻蚀清洗设备包括机架(1)，所述机架(1)上设置有刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)，所述机架(1)上设置有硅片输送装置(2)，所述硅片输送装置(2)从刻蚀水槽(3)和清洗水槽(5)中穿过，其特征在于，所述机架(1)上设置有机罩(4)，所述机架(1)上且位于所述机罩(4)内部设置有维修隔板(401)，位于所述维修隔板(401)后方的为维修区，位于所述维修隔板(401)的前方的为设备区，所述维修隔板(401)的前方设置有抽风调节板(404)，所述抽风调节板(404)的下端设置有下封板(405)，所述维修隔板(401)、下封板(405)以及抽风调节板(404)之间的空间为抽风通道(402)，所述维修隔板(401)上和抽风调节板(404)上设置有与所述抽风通道(402)相连通的抽风孔(407)，所述抽风通道(402)的出口与负压抽风设备入口连通。