[实用新型]一种气驱动光学元器件调整装置及光刻机有效
| 申请号： | 201620257618.0 | 申请日： | 2016-03-30 |
| 公开（公告）号： | CN205608392U | 公开（公告）日： | 2016-09-28 |
| 发明（设计）人： | 刘云飞 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备有限公司 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 屈蘅;李时云 |
| 地址： | 201203 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种气驱动光学元器件调整装置及光刻机，该调整装置包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压调节装置，气压调节装置与气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接支撑件、且对支撑件进行气压驱动，光学元器件安装在支撑件上。本实用新型通过将气压调节装置和气驱动装置分开设置，气压调节装置的密封腔通过气管与气驱动装置的密封腔形成气路连通，使气压调节装置远离投影物镜位置，消除了其电机发热对投影物镜造成的干扰，提高了气驱动光学元器件调整装置对投影物镜的调节控制精度，同时，气驱动装置整体尺寸小，适合安装在投影物镜中，通过改变气体体积输出压力，可以达到更高的控制精度。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 驱动 光学 元器件 调整 装置 光刻 | ||
【主权项】：
一种气驱动光学元器件调整装置，其特征在于，包括：支撑件、气管、气驱动装置及气压调节装置，其中，光学元器件安装在所述支撑件上，所述气压调节装置与所述气驱动装置独立设置，且两者的密封腔通过所述气管连通，所述气驱动装置连接所述支撑件并对所述支撑件进行气压驱动。
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