[实用新型]一种固晶机自动换片装置有效
申请号: | 201620257274.3 | 申请日: | 2016-03-29 |
公开(公告)号: | CN205508788U | 公开(公告)日: | 2016-08-24 |
发明(设计)人: | 倪凯;施文桦;戴晓清;赵骞;鲁信琼 | 申请(专利权)人: | 佛山市施翔腾科技设备有限公司 |
主分类号: | H01L21/67 | 分类号: | H01L21/67;H01L21/677 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 510000 广东省佛山市顺德*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本实用新型公开了一种固晶机自动换片装置,包括XY芯片平台、芯片料盒台和芯片夹取机构,所述XY芯片平台通过伺服电机驱动的丝杠导轨机构进行移动;所述芯片料盒台包括料盒和芯片架,所述料盒安装在芯片架上,芯片架上安装有料盒调节条;料盒通过步进电机A驱动滚珠丝杠B进行移动;所述芯片夹取机构包括操作平台,操作平台通过步进电机B驱动丝杠导轨机构进行移动。本实用新型设计合理,应用在半导体封装行业前端装配工序中芯片粘接工序的固晶机上,PLC为主控设备,通过计算机与PLC通讯设置参数,达到自动控制每个晶圆芯片自动换装,提高生产线的自动化程度,节约劳动力,降低人工成本,提高生产效率。 | ||
搜索关键词: | 一种 固晶机 自动 装置 | ||
【主权项】:
一种固晶机自动换片装置,包括XY芯片平台、芯片料盒台和芯片夹取机构,其特征在于:所述XY芯片平台包括XY平台(1),所述XY平台(1)上方设有平台压模(3),平台压模(3)通过4个平台升降气缸(5)与XY平台(1)连接;XY平台(1)底部X方向和Y方向均设有滚珠丝杠A(7),两个滚珠丝杠A(7)的尾端均安装有伺服电机(2),伺服电机(2)驱动连接滚珠丝杠A(7);XY平台(1)下方设有直线导轨A(6),XY平台(1)与直线导轨A(6)滑动连接;所述芯片料盒台包括料盒(8)和芯片架,所述料盒(8)安装在芯片架上,料盒(8)底部设有料盒底板(10),芯片架上安装有料盒调节条;料盒(8)左侧设有滚珠丝杠B(13)和导向轴(14),料盒(8)左侧通过上下运行块(11)固定在滚珠丝杠B(13)和导向轴(14)上,滚珠丝杠B(13)与步进电机A(12)的传动轴连接,步进电机A(12)驱动连接滚珠丝杠B(13);所述芯片夹取机构包括操作平台(15),操作平台(15)左侧安装有步进电机B(17),步进电机B(17)驱动连接滚珠丝杠C(19),滚珠丝杠C(19)位于操作平台(15)上端;操作平台(15)上端铺设有直线导轨B(20),步进电机B(17)驱动连接直线导轨B(20),直线导轨B(20)上安装有伸缩用气缸(18),伸缩用气缸(18)与直线导轨B(20)滑动连接,伸缩用气缸(18)下端安装有芯片膜夹紧嘴(22);直线导轨B(20)上安装有感应器(21);操作平台(15)上设有指令操作装置(16)。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造