[实用新型]一种旋转式有机材料蒸发装置

摘要

本实用新型揭示了一种旋转式有机材料蒸发装置，包括旋转式蒸发单元和驱动单元，旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中坩埚底板上环形设置有复数坩埚，集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，中心旋转支杆的底端与绝缘板相固接，顶端依次穿过导电滑座、圆筒套、坩埚底板，驱动单元包括电机及驱动轮，驱动轮驱动电极承载环体旋转并带动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。本实用新型通过旋转的方式实现多有机源协同作业，结构紧凑，增加了实验参数可调性；多有机源共用一石英晶振探头，减少了石英晶振探头的使用数量；结构紧凑，易于安装、更换、维护；控制精度高、生产效率高、能耗低、成本低。

主权项

一种旋转式有机材料蒸发装置，其特征在于：包括旋转式蒸发单元和驱动单元，所述旋转式蒸发单元包括中心旋转支杆、坩埚底板、集成电极座、绝缘板及导电滑座，其中所述坩埚底板上环形设置有复数坩埚，并且中心位置设有供中心旋转支杆穿过的轴孔，所述坩埚内设有加热丝，所述集成电极座包括圆筒套和电极承载环体，所述电极承载环体设置于所述圆筒套的底端外围，并且其上贯穿设置有复数电极，所述导电滑座与所述绝缘板相固接，所述导电滑座的设有中心轴孔、及贯穿导电滑座的用于与所述电极承载环体上复数电极相导通对接的复数导电电极，所述中心旋转支杆的底端与所述绝缘板相固接，中心旋转支杆依次穿过所述导电滑座的中心轴孔、所述集成电极座的圆筒套、坩埚底板的轴孔，所述坩埚底板与所述圆筒套的顶部相固接，所述坩埚内的加热丝穿过所述坩埚的底部、坩埚底板与所述电极承载环体上的电极相导通连接，所述导电滑座的顶端与所述圆筒套的底面相对；所述驱动单元包括电机及受驱于所述电机的驱动轴的驱动轮；所述驱动轮与所述电极承载环体的侧壁相抵接，并且在所述驱动轮的驱动作用下，所述电极承载环体通过圆筒套驱动坩埚底板围绕中心旋转支杆旋转。