[实用新型]一种ITO靶材磨边倒角机有效

专利信息
申请号: 201620223241.7 申请日: 2016-03-22
公开(公告)号: CN205520820U 公开(公告)日: 2016-08-31
发明(设计)人: 武建良;陆映东;农浩;黄作;黄誓成 申请(专利权)人: 广西晶联光电材料有限责任公司
主分类号: B24B9/06 分类号: B24B9/06;B24B27/00;B24B41/02
代理公司: 柳州市荣久专利商标事务所(普通合伙) 45113 代理人: 韦微
地址: 545616 广西壮族自治区柳州市柳*** 国省代码: 广西;45
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摘要: 实用新型涉及一种ITO靶材磨边倒角机,包括电机机架、三个磨头电机、三个金刚石砂轮、平台机架、调速电机、丝杆、工作平台和直线导轨,三个磨头电机分别通过滑动组件安装在电机机架上,三个金刚石砂轮分别安装在三个磨头电机上,直线导轨安装在平台机架上,工作平台通过滑块安装在直线导轨上,丝杆与调速电机连接,工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接;三个磨头电机的中轴线与工作平台平面的位置关系分别为:呈向上30~60度角、平行、呈向下30~60度角。本实用新型的磨边倒角尺寸精度可控制在±0.1mm以内,可以同时完成倒上棱角、磨边和倒下棱角的工作,能够提高ITO靶材磨边倒角工序的工作效率和工作质量。
搜索关键词: 一种 ito 磨边 倒角
【主权项】:
一种ITO靶材磨边倒角机,其特征在于:包括电机机架(3)、三个磨头电机(7)、三个金刚石砂轮(8)、平台机架(1)、调速电机(11)、丝杆(10)、工作平台(9)和直线导轨(2),所述的三个磨头电机(7)分别通过滑动组件安装在电机机架(3)上,三个金刚石砂轮(8)分别安装在三个磨头电机上,所述的直线导轨(2)安装在平台机架(1)上,工作平台(9)通过滑块(13)安装在直线导轨(2)上,丝杆(10)与调速电机(11)连接,工作平台的底端与丝杆通过螺纹连接;三个磨头电机中,其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向上30~60度角,其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面平行,其中一个磨头电机的中轴线与工作平台平面呈向下30~60度角。
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