[实用新型]一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极有效
| 申请号： | 201620216458.5 | 申请日： | 2016-03-21 |
| 公开（公告）号： | CN205556769U | 公开（公告）日： | 2016-09-07 |
| 发明（设计）人： | 杨元才;钱鹏亮;郑战伟;朱振东;林晨;周通;谭新 | 申请（专利权）人： | 上海福宜真空设备有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/35 | 分类号： | C23C14/35;H01J37/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 201821 上*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其中，在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。所述旋转气缸与进水轴通过设置联动法兰实现传动。与现有技术相比，本实用新型的有益效果是：本专利提供了一种磁路可以转动的旋转阴极，磁路方向转变时，靶原子轰击的方向相应改变，就不需要在阴极和基底之间添加挡板机构，可以简化镀膜设备并节省设备空间。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 溅射 磁路 组件 可以 转动 旋转 阴极 | ||
【主权项】：
一种预溅射时磁路组件可以转动的旋转阴极，包括进水管以及设置在进水管外部的磁路组件，其特征在于：在进水管上端设置一个进水轴，所述进水轴与水接头相连接，进水轴与进水管相通，在进水轴的上端设置一个旋转气缸。
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