[实用新型]自动清洗设备

摘要

本实用新型揭露一种自动清洗设备，自动清洗设备包括上料台、待洗台、一清洗装置、清洗机器人、下料位、烘干隧道及下料台。上料台用以盛装多个芯片。待洗台用以接收自上料台传送的芯片。清洗装置用以固定自待洗台传送来的芯片，清洗装置包含升降托板、吸附组件以及底板，吸附组件设于底板上，吸附组件用以吸附芯片，升降托板能相对于底板而移动。升降托板带动芯片容置载具下降以露出芯片，喷射通道用以将干冰粉末喷射至芯片。下料位用以接收自清洗装置清洗后的芯片。烘干隧道用以烘干自下料位传送的芯片。下料台接收自烘干隧道传送的芯片。

主权项

一种自动清洗设备，其特征在于，包括：一上料台，用以加装芯片容置载具，每个容置载具用以盛装多个芯片；一待洗台，位于该上料台的下游，该待洗台用以接收自该上料台传送的承装着该多个芯片的该容置载具；一清洗装置，位于该待洗台的下游，该清洗装置用以固定自该待洗台传送的该容置载具上的该多个芯片，该清洗装置包含一升降托板、多个吸附组件以及一底板，该多个吸附组件设于该底板上，该多个吸附组件用以吸附该多个芯片，该升降托板能相对于该底板而移动；一清洗机器人，耦接于该清洗装置，该清洗机器人包含一喷射通道，其中该升降托板带动该容置载具下降以露出该多个芯片，该喷射通道用以将干冰粉末喷射至该多个芯片；一下料位，位于该清洗装置的下游，该下料位用以接收自该清洗装置清洗后的该多个芯片及该容置载具；一烘干隧道，位于该下料位的下游，该烘干隧道用以烘干自该下料位传送的该多个芯片及该容置载具；以及一下料台，位于该烘干隧道的下游，该下料台接收自该烘干隧道传送的该多个芯片及该容置载具。