[实用新型]解离率监控装置、等离子清洗单元以及等离子设备

摘要

本实用新型公开了一种解离率监控装置、等离子清洗装置以及等离子设备，涉及液晶显示制造领域，可以解决现有等离子设备中对解离率缺少监控的问题，给等离子解离部件更换以及设备维护保养提供准确科学数据，确保工艺镀膜腔室清洗效果和产品品质稳定性。本实用新型的解离率监控装置，用于监控等离子设备的解离率，包括：电源、等离子采集器、电流表和线材，所述电源、等离子采集器和电流表通过所述线材相互串联形成闭合电路；等离子采集器包括：两个极板和设置于两个极板之间的绝缘物质。

主权项

一种解离率监控装置，用于监控等离子设备的解离率，其特征在于，包括：电源、等离子采集器、电流表和线材，所述电源、等离子采集器和电流表通过所述线材相互串联形成闭合电路；所述等离子采集器包括：两个极板和设置于两个极板之间的绝缘物质。