[实用新型]基于自动跟踪的自由曲面光学元件形貌测量系统有效
| 申请号： | 201620162659.1 | 申请日： | 2016-03-03 |
| 公开（公告）号： | CN205655804U | 公开（公告）日： | 2016-10-19 |
| 发明（设计）人： | 居冰峰;杜慧林;曾培阳;孙安玉;孙泽青 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | G01B11/24 | 分类号： | G01B11/24 |
| 代理公司： | 杭州求是专利事务所有限公司 33200 | 代理人： | 邱启旺 |
| 地址： | 310027 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种基于自动跟踪的自由曲面光学元件形貌测量系统，包括运动模块、位置伺服模块和双频激光干涉仪；所述运动模块包括转台、导轨、音圈电机、滑块和机架；所述位置伺服模块包括彩色共焦位移传感器、信号调理器、自动跟踪控制器、音圈电机驱动器、光栅尺和光栅尺读数头；所述双频激光干涉仪包括激光器、平面干涉镜组和可移动反光镜；本实用新型采用探头自动跟踪的测量方式来拟合被测光学元件的形貌，能有效解决现有测量方法中探头不动带来的无法测量PV值较大的问题。同时采用彩色共焦测量原理，能使测量精度和分辨率都达到纳米级，测量量程达到10mm，弥补了现有探头对被测光学元件有可能造成损伤、精度不高和量程有限的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 基于 自动 跟踪 自由 曲面 光学 元件 形貌 测量 系统 | ||
【主权项】：
一种基于自动跟踪的自由曲面光学元件形貌测量系统，其特征在于，该系统包括运动模块、位置伺服模块和双频激光干涉仪；其中，所述运动模块包括转台(1)、导轨(7)、音圈电机(5)、滑块(4)和机架(3)；所述位置伺服模块包括彩色共焦位移传感器(10)、信号调理器(11)、自动跟踪控制器(12)、音圈电机驱动器(13)、光栅尺(8)和光栅尺读数头(9)；所述双频激光干涉仪包括激光器(17)、平面干涉镜组和可移动反光镜(6)；所述音圈电机(5)包括线圈和磁钢；待测光学元件(2)放置在转台(1)上，转台(1)能够沿X,Y方向运动；所述导轨(7)、光栅尺读数头(9)和音圈电机(5)的磁钢固定于机架(3)上；所述彩色共焦位移传感器(10)、音圈电机(5)的线圈和可移动反光镜(6)固定在滑块(4)上，滑块(4)放置在导轨(7)上，能够沿导轨(7)直线滑动；所述彩色共焦位移传感器(10)、信号调理器(11)、自动跟踪控制器(12)和音圈电机驱动器(13)依次相连；所述音圈电机驱动器(13)与音圈电机(5)的线圈连接；所述平面干涉镜组位于可移动反光镜(6)正上方，所述激光器(17)正对平面干涉镜组侧面。
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