[实用新型]币式晶圆包装盒

摘要

本实用新型公开了一种币式晶圆包装盒包括上盖和底盖，上盖的顶面内侧均匀设有多个用于固定晶圆的弹片，侧壁内侧均匀设有多个圆柱凸台，各弹片与晶圆的边缘抵靠；底盖的侧壁外侧设有配合面和台阶面，配合面上设有开口槽，圆柱凸台卡接在开口槽内，上盖的侧壁抵靠在台阶面上。本实用新型，直接在上盖的顶面内侧设置弹片，降低了构件的数目；弹片只与晶圆的边缘抵靠，减小了弹片与晶圆的接触面积，避免了弹片对晶圆表面造成的破坏和污染，多个弹片均匀分布也利于晶圆保持良好的居中度，降低碰撞；且上盖和底盖通过圆柱凸台和开口槽形成锁扣结构，简单可靠，减少了上盖和底盖之间的摩擦，减少了颗粒或灰尘的产生，防止晶圆受到污染。

主权项

币式晶圆包装盒，其特征在于，包括：上盖，顶面内侧均匀设有多个用于固定晶圆的弹片，侧壁内侧均匀设有多个圆柱凸台，各所述弹片与晶圆的边缘抵靠；底盖，侧壁外侧设有配合面和台阶面，所述配合面上设有开口槽，所述圆柱凸台卡接在所述开口槽内，所述上盖的侧壁抵靠在所述台阶面上。