[实用新型]一种冷阴极大功率电子束枪

摘要

本实用新型公开了一种冷阴极大功率电子束枪，特点是包括从上至下依次设置的电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，电极接入组件通过绝缘套与气体电离组件密封固定，气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件依次密封固定，电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和束流偏转导引组件上均设置有水冷机构；优点是由于设置有使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，在工作过程中通过偏转线圈使出射电子束流发生偏转，从根本上避免了加热物料热辐射对冷阴极及气体电离室的干扰和影响，消除了飞溅物、烟气、灰尘等细微颗粒的意外放电，大大增加了冷阴极电子束枪的工作稳定性。

主权项

一种冷阴极大功率电子束枪，其特征在于包括从上至下依次设置的电极接入组件、气体电离组件、阳极栅孔管和使出射电子束流发生偏转的束流偏转导引组件，所述的电极接入组件通过绝缘套与所述的气体电离组件密封固定，所述的气体电离组件、所述的阳极栅孔管和所述的束流偏转导引组件依次密封固定，所述的电极接入组件、所述的气体电离组件、所述的阳极栅孔管和所述的束流偏转导引组件上均设置有水冷机构。