[实用新型]一种新型真空镀膜装置有效
| 申请号： | 201620102343.3 | 申请日： | 2016-02-01 |
| 公开（公告）号： | CN205473954U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 吴江荣 | 申请（专利权）人： | 东阳市白坦真空镀膜厂 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24 |
| 代理公司： | 广州市华学知识产权代理有限公司 44245 | 代理人： | 张金刚 |
| 地址： | 322109 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种新型真空镀膜装置，包括本体，本体内上部设有摄像头，摄像头与监控器连接，摄像头下部设有模板，模版下方设有第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源，本体侧边设有气管，气管与真空泵连接，气管上设有过滤器，第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源外部均设有保护罩，保护罩与镀膜发生件连接，镀膜发生件正对模板，本体内设有温度传感器，温度传感器与控制器连接，控制器分别与第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源连接。本实用新型具有结构简单、造价便宜、生产质量好、薄膜形成均匀、避免交叉污染及自动化程度高等特点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 新型 真空镀膜 装置 | ||
【主权项】：
一种新型真空镀膜装置，其特征在于：包括本体，本体内上部设有摄像头，摄像头与监控器连接，摄像头下部设有模板，模版下方设有第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源，本体侧边设有气管，气管与真空泵连接，气管上设有过滤器，第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源外部均设有保护罩，保护罩与镀膜发生件连接，镀膜发生件正对模板，本体内设有温度传感器，温度传感器与控制器连接，控制器分别与第一蒸发源、第二蒸发源及第三蒸发源连接。
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