[实用新型]传感器

摘要

本实用新型涉及一种传感器，该传感器能够克服下述问题，即：传感器中的电焊盘在暴露于所感测的流体的情况下可能被腐蚀或损坏。具体地，提供了一种传感器，其可包括衬底，该衬底限定有延伸穿过衬底的流动通道以及在衬底上的多个结合焊盘。第一壳体可沿衬底设置，且可允许从流体入口流向流体出口的至少一些流体沿着该流体通道的至少一部分流动。第二壳体可沿衬底设置。传感芯片可设置在第二壳体和衬底之间，并且可包括面对衬底的传感侧，具有与流动通道配准的传感元件，和在传感侧上的多个结合焊盘，其与衬底上的多个结合焊盘配准并且被凸块焊接至衬底上的多个结合焊盘。粘合剂或其他材料可施加在传感芯片的传感侧和衬底之间。

主权项

一种传感器，其特征在于，包括：包括第一侧和相反的第二侧的衬底，所述衬底限定有从所述第一侧延伸穿过所述衬底至所述第二侧的流动通道，所述衬底还包括在所述衬底的第二侧上的多个结合焊盘；提供了流体入口和流体出口的第一壳体，所述第一壳体沿所述衬底的第一侧设置，并且被配置成允许从所述流体入口流向所述流体出口的至少一些流体沿着所述衬底的流动通道的至少一部分流动；沿所述衬底的第二侧设置的第二壳体，其被配置成提供围绕所述流体通道的密封；以及设置在所述第二壳体和所述衬底的第二侧之间的传感芯片，所述传感芯片包括面对所述衬底的第二侧的传感侧，具有与所述流动通道配准的传感元件，所述传感芯片还包括在所述传感侧上的多个结合焊盘，其与所述衬底的第二侧上的多个结合焊盘配准并且被凸块焊接至所述衬底的第二侧上的多个结合焊盘。