[实用新型]一种基板清洗装置有效
| 申请号： | 201620064336.9 | 申请日： | 2016-01-22 |
| 公开（公告）号： | CN205324282U | 公开（公告）日： | 2016-06-22 |
| 发明（设计）人： | 甄常刮 | 申请（专利权）人： | 纳晶科技股份有限公司 |
| 主分类号： | B08B5/02 | 分类号： | B08B5/02;B08B3/10;B08B13/00 |
| 代理公司： | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人： | 汤东凤 |
| 地址： | 310052 浙江省杭州市滨*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本实用新型提供了一种基板清洗装置，旨在解决现有的清洗装置在通过离心将基板甩干时，基板中心区域由于离心力较小，水分很难被甩干，造成工作效率低的问题。一种基板清洗装置，包括槽体、转动装置和喷气装置，转动装置转接在槽体内，基板水平安装在转动装置上且在转动装置的带动下在水平面内旋转，喷气装置设置在槽体内壁上且朝向基板的中心喷气。在高速旋转对基板进行甩干时，在基板中心区域的水珠很难被甩出，需要长时间的高速旋转才可将水珠甩离中心区域；设置喷气装置，可以快速将水珠吹离基板中心区域，水珠被甩出，提高了工作效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 清洗 装置 | ||
【主权项】：
一种基板清洗装置，其特征是：包括槽体(1)、转动装置和喷气装置，转动装置转接在槽体(1)内，基板(01)水平安装在转动装置上且在转动装置的带动下在水平面内旋转，喷气装置设置在槽体(1)内壁上且朝向基板(01)的中心区域喷气。
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