[实用新型]一种基于孪生旋转阴极的多层光学薄膜镀膜系统

摘要

本实用新型公开了一种基于孪生旋转阴极的多层光学薄膜镀膜系统,包括真空部分、溅射系统、载架系统和真空获得系统；所述真空获得系统与真空部分通过分子泵和初抽口联通，并将对真空部分进行抽真空，达到溅射系统所需本底真空后，对真空部分通入氩气将真空度控制在工作真空度；该系统，一、磁控溅射工艺稳定，溅射率稳定并可以长时间工作，产品可以获得稳定的光学性能；二、设备采用光学监控，可以实现全自动光学监控镀膜；三、设备通用性好，可以完成的光学膜系多，包括可见光分光膜、可见光滤光片(RGB滤光片)、光学截至滤光片、红外滤光片、激光抗反膜、激光反射膜等。

主权项

一种基于孪生旋转阴极的多层光学薄膜镀膜系统，其特征在于：包括真空部分(1)、溅射系统(2)、载架系统(3)和真空获得系统(4)；所述真空获得系统(4)与真空部分(1)通过分子泵和初抽口联通，并将对真空部分(1)进行抽真空，达到溅射系统(2)所需本底真空后，对真空部分(1)通入氩气将真空度控制在工作真空度，启动溅射系统(2)对固定在载架系统上的基片进行溅射镀膜；所述真空部分(1)为由真空腔体(1‑1)、与真空腔体(1‑1)密封配合的真空腔门(1‑2)、焊接在真空腔门(1‑2)上的观察窗(1‑3)、焊接在真空腔门(1‑2)上的光学监控窗(1‑5)和焊接在真空腔体(1‑1)顶部的真空计安装法兰(1‑6)组成；所述溅射系统(2)为四套孪生旋转阴极溅射阴极系统，每套孪生旋转溅射阴极系统为由孪生旋转阴极溅射阴极(2‑1)、安装在真空腔体(1‑1)内壁的阴极保护框(2‑2)和安装在阴极保护框(2‑2)上的均匀性调节板(2‑3)组成；所述载架系统(3)包含动力电机(3‑9)、通过传送带带动动密封(3‑8)轴承转动并与真空腔体(1‑1)密封配合、动密封(3‑8)通过平键连接带动载架安装座(3‑3)转动、载架安装座(3‑3)与承载轴承(3‑6)紧固连接，并安装在轴承安装座(3‑7)上、轴承安装座(3‑7)通过键与载架上旋转座(3‑2)连接并同轴转动，由载架上固定座(3‑1)、基片安装板(3‑4)和载架下固定座(3‑5)安装在载架安装座(3‑3)上一起运动；所述载架系统(3)通过有旋转监控(3‑10)对载架旋转进行监控，并与中央电脑配合程序执行旋转动作；所述真空获得系统(4)为由安装在真空腔体(1‑1)上的两台分子泵(4‑1)、与分子泵(4‑1)连接的分子泵前级阀(4‑4)、在真空腔体(1‑1)上配有的初抽口(4‑2)、与初抽口(4‑2)连接的初抽阀(4‑3)、分子泵前级阀(4‑4)和初抽阀(4‑3)都与前级管道(4‑5)连接并通过前级阀(4‑6)与罗茨泵(4‑7)连接、罗茨泵(4‑7)通过挡板阀(4‑8)通过管道与机械泵连接。