[实用新型]一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台有效
| 申请号： | 201620054539.X | 申请日： | 2016-01-20 |
| 公开（公告）号： | CN205484413U | 公开（公告）日： | 2016-08-17 |
| 发明（设计）人： | 高尚;缪亚美;王颖 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨工业大学深圳研究生院 |
| 主分类号： | G01Q30/20 | 分类号： | G01Q30/20;G01Q30/02 |
| 代理公司： | 深圳市科吉华烽知识产权事务所(普通合伙) 44248 | 代理人： | 孙伟 |
| 地址： | 518000 广东省深*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及电子显微镜背散射电子衍射测试技术领域，尤其涉及一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台。本实用新型提供一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，斜台与阶梯式底座连接的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角，以保证样品测试面面向EBSD探头。本实用新型简单可靠，一体结构牢固耐用，简化电镜放样流程，可测量大样品或一次测量多个样品，可显著提高EBSD测样的效率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 扫描 电子显微镜 ebsd 测试 样品 | ||
【主权项】：
一种用于扫描电子显微镜EBSD测试的样品台，其特征在于： 该样品台为一体式结构，包括斜台和阶梯式底座，位于所述斜台上的斜台切面与阶梯型底座成70°夹角，该斜台切面与阶梯型底座的交线同进样方向呈夹角。
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