[实用新型]一种晶圆红外检测装置

摘要

本实用新型涉及到晶圆检测技术领域，尤其涉及一种晶圆红外检测装置。该晶圆红外检测装置，包括底板、侧板、前后移动平台、托盘、支撑杆和CCD图像传感器。本实用新型所涉及的一种晶圆红外检测装置上设有前后移动手柄和左右移动手柄，前后移动手柄和左右移动手柄能够调节红外灯的位置，装置中的精确平移手柄能够对CCD图像传感器的位置进行精确调节，使得最终的检测检测效果好，图像清晰。这样就能在封装过程中提前发现不良品，节省了成本以及人力物力。此外，该晶圆红外检测装置结构设计合理，使用方便可靠，适合推广使用。

主权项

一种晶圆红外检测装置，包括底板（1）、侧板（2）、前后移动平台（4）、托盘（11）、支撑杆（13）和CCD图像传感器（17），其特征在于：所述侧板（2）和前后移动平台（4）固定在底板（1）上，所述前后移动平台（4）上设有前后移动手柄（5），左右移动平台（6）设置在前后移动平台（4）上，转动前后移动手柄（5）能够带动前后移动平台（4）前后移动，所述左右移动平台（6）上设有左右移动手柄（7），所述左右移动平台（6）上设有红外灯固定座（8），转动左右移动手柄（7）能够带动红外灯固定座（8）左右移动，所述红外灯固定座（8）上设有红外灯（9），所述侧板（2）上设有多个通风散热孔（3），所述侧板（2）的顶部固定有导轨（10），所述托盘（11）设置在导轨（10）内，所述托盘（11）的中部设有晶圆放置孔（12），所述支撑杆（13）固定在底板（1）上，所述支撑杆（13）的顶部设有平移台（14），所述CCD图像传感器（17）固定在支架（16）上，所述支架（16）上设有精确平移手柄（15），所述支架（16）设置在平移台（14）上。