[实用新型]一种用于半导体气敏传感器的老化装置有效

专利信息
申请号: 201620029317.2 申请日: 2016-01-13
公开(公告)号: CN205786426U 公开(公告)日: 2016-12-07
发明(设计)人: 王胜辉;庄益诗;王伟杰;刘畅;和红伟;邵秋华;梁武民;王国玉;卢站芳;梁东森;曹瑞林;李博;卢声 申请(专利权)人: 许继集团有限公司;许继电气股份有限公司;许昌许继软件技术有限公司;国家电网公司
主分类号: G01N27/00 分类号: G01N27/00
代理公司: 郑州睿信知识产权代理有限公司41119 代理人: 陈晓辉
地址: 461000 河*** 国省代码: 河南;41
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摘要: 实用新型涉及一种用于半导体气敏传感器的老化装置,包括供气装置和用于控制气体流量的阻尼管,所述的阻尼管一端为进气口,进气口与供气装置连接,另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口,通过调节阻尼管控制气体流量,而相比传统的由控制压力控制器、稳压阀和电子压力表组成的气体流量控制装置,所用的阻尼管结构简单、造价低,使用方便,解决了半导体气敏传感器老化装置中气体流量控制设备结构复杂、造价高的问题。
搜索关键词: 一种 用于 半导体 传感器 老化 装置
【主权项】:
一种用于半导体气敏传感器的老化装置,包括供气装置,其特征在于:所述的用于半导体气敏传感器老化装置还包括用于控制气体流量的阻尼管,所述的阻尼管一端为进气口,进气口与供气装置连接,另一端为用于连接要进行老化处理的半导体气敏传感器的出气口。
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