[实用新型]半导体薄膜沉积设备用加热器监控系统

摘要

本实用新型公开了一种半导体薄膜沉积设备用加热器监控系统。以检测向加热器发热线圈及接地配线流入的RF信号为基准，在诊断部与正常信号范围进行比较，并判断加热器是否异常，选择性由RF滤波器传送来的累积误差数据和设定的误差范围信号进行比较，也可判断加热器是否异常。加热器驱动电压是由电源供应部通过RF滤波器，施加给加热器上可供应稳定的电压。

主权项

一种半导体薄膜沉积设备用加热器监控系统，其特征在于：包括，RF供应部、工序室、RF滤波器、电源供应部、诊断部；所述工序室内设置有花洒、加热器，所述花洒与RF供应部连接，所述加热器内部设置有加热线圈，所述加热线圈与RF滤波器连接；所述RF滤波器与电源供应部连接，所述电源供应部通过RF滤波器为加热器供电；所述诊断部与RF滤波器连接。