[实用新型]一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板有效
| 申请号： | 201620013453.2 | 申请日： | 2016-01-07 |
| 公开（公告）号： | CN205443442U | 公开（公告）日： | 2016-08-10 |
| 发明（设计）人： | 倪鹏玉;王树林;杨与胜;张明全 | 申请（专利权）人： | 钧石(中国)能源有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/56 | 分类号： | C23C14/56;C23C14/35;H01L31/18;H01L31/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 362000 福建*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本实用新型公开了一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。本实用新型用于固定硅片沉积的新载板，由弹簧提拉弹片组件压住硅片四周，硅片由载板托起，使得被放置到由若干个纯金属的靶材等组成的腔室内工作的硅片就不会因载板的变形而受到影响，消除硅片与载板之间的间隙，改善硅片表面镀层质量，提高光电转换效率及生产良率。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 用于 hit 太阳能电池 镀膜 | ||
【主权项】：
一种用于HIT太阳能电池镀膜的载板，其特征在于：所述载板包括载板本体、设在载板本体四周的框架、设在载板本体上的螺纹孔、设在载板本体上的槽口、和螺纹孔相互啮合的弹簧提拉组件。
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