[实用新型]一种针对盐酸体系的蚀刻液再生循环设备有效

专利信息
申请号: 201620012134.X 申请日: 2016-01-07
公开(公告)号: CN205443453U 公开(公告)日: 2016-08-10
发明(设计)人: 郭峰;郭志敏;陈启山;林元吉;佟永明 申请(专利权)人: 无锡市瑞思科环保科技有限公司
主分类号: C23F1/46 分类号: C23F1/46;C23F1/08
代理公司: 无锡华源专利商标事务所(普通合伙) 32228 代理人: 孙力坚;聂启新
地址: 214112 江苏省无锡市*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 实用新型涉及一种针对盐酸体系的蚀刻液再生循环设备,包括带有阳极的阳室组件,阳室组件设置于一对阴室组件之间,在各阴室组件内设置阴极;各阴室组件的内侧与阳室组件的两侧之间分别设置阴膜,于各阴室组件的外侧也分别设置阴模;于所阴室组件的两端分别开设阴室进液口及再生液出液口,于阳室组件的两端分别开设阳室进液口及残液出液口,各阳室组件、阴室组件及阴膜均连接形成一体。本实用新型通过布置阴模使阴室组件中没有酸的累积,由此减少了盐酸的挥发,减少了现有工艺中药水的盐酸损耗量,提高了药水回用率。另外阴室组件、阳室组件、阴膜一体化设计减少了占地面积,设备体积小,降低了维护人员的劳动时间和强度,有效满足了生产需求。
搜索关键词: 一种 针对 盐酸 体系 蚀刻 再生 循环 设备
【主权项】:
一种针对盐酸体系的蚀刻液再生循环设备,其特征在于:包括带有阳极(8)的阳室组件(6),所述阳室组件(6)设置于一对阴室组件(5)之间,在各阴室组件(5)内设置阴极(9);各阴室组件(5)的内侧与阳室组件(6)的两侧之间分别设置阴膜(7),于各阴室组件(5)的外侧也分别设置阴模(7);于所述阴室组件(5)的两端分别开设阴室进液口(1)及再生液出液口(4),于所述阳室组件(6)的两端分别开设阳室进液口(2)及残液出液口(3),各阳室组件(6)、阴室组件(5)及阴膜(7)均连接形成一体。
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