[实用新型]一种硅片切割液冷却装置有效

专利信息
申请号: 201620006405.0 申请日: 2016-01-05
公开(公告)号: CN205482470U 公开(公告)日: 2016-08-17
发明(设计)人: 李朝辉;王军 申请(专利权)人: 江西忠智太阳能科技有限公司
主分类号: F28D7/02 分类号: F28D7/02;F28F19/01
代理公司: 新余市渝星知识产权代理事务所(普通合伙) 36124 代理人: 廖平
地址: 338000 江西省新余市开*** 国省代码: 江西;36
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摘要: 实用新型公开了一种硅片切割液冷却装置。包括进液腔,所述进液腔一侧外沿设有第一法兰,所述进液腔端面下部设有切割液进口,所述进液腔远离切割液进口的一端设有腔体,所述腔体靠近进液腔端部的一侧设有第二法兰,所述第一法兰与第二法兰之间设有第一法兰垫,所述腔体靠近进液腔的一端设有过滤网,所述过滤网远离进液腔的一侧为两个相同形状的切割液冷却管道,所述腔体靠近第二法兰的一侧设有冷却液出口,所述腔体远离过滤网的一端设有切割液出口,所述腔体靠近切割液出口的一侧设有冷却液进口,所述过滤网为细密金属网状结构。本实用新型,细密金属网状的过滤网能够过滤掉切割液中颗粒较小的杂质。
搜索关键词: 一种 硅片 切割 冷却 装置
【主权项】:
一种硅片切割液冷却装置,包括进液腔(1),其特征在于:所述进液腔(1)一侧外沿设有第一法兰(2),所述进液腔(1)端面下部设有切割液进口(8),所述进液腔(1)远离切割液进口(8)的一端设有腔体(7),所述腔体(7)靠近进液腔(1)端部的一侧设有第二法兰(4),所述第一法兰(2)与第二法兰(4)之间设有第一法兰垫(3),所述腔体(7)靠近进液腔(1)的一端设有过滤网(9),所述过滤网(9)远离进液腔(1)的一侧设有两个相同形状的切割液冷却管道(6),所述腔体(7)靠近第二法兰(4)的一侧设有冷却液出口(5),所述腔体(7)远离过滤网(9)的一端设有切割液出口(11),所述腔体(7)靠近切割液出口(11)的一侧设有冷却液进口(10)。
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