[实用新型]溅射镍靶材生产中的冷却装置有效
| 申请号： | 201620004227.8 | 申请日： | 2016-01-02 |
| 公开（公告）号： | CN205295448U | 公开（公告）日： | 2016-06-08 |
| 发明（设计）人： | 王嗣杰 | 申请（专利权）人： | 沈阳兴工铜业有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 110000 辽宁省沈阳市*** | 国省代码： | 辽宁;21 |
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| 摘要： | 本实用新型涉及溅射靶材生产技术领域，公开了一种溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材、冷却背板和磁钢，多块镍靶材并列拼接后贴合安装于冷却背板上，所述磁钢安装在冷却背板的背面，所述冷却背板内设有循环冷却管道，所述冷却背板的端部还设有与循环冷却管道两端连通的冷却水进口和冷却水出口。本实用新型在冷却背板中设置循环冷却管道，可根据需要向循环冷却管道内通入冷却循环水，极大地提高了冷却效率。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 镍靶材 生产 中的 冷却 装置 | ||
【主权项】：
溅射镍靶材生产中的冷却装置，包括多块镍靶材(1)、冷却背板(2)和磁钢(3)，多块镍靶材(1)并列拼接后贴合安装于冷却背板(2)上，所述磁钢(3)安装在冷却背板(2)的背面，其特征在于：所述冷却背板(2)内设有循环冷却管道(4)，所述冷却背板(2)的端部还设有与循环冷却管道(4)两端连通的冷却水进口(5)和冷却水出口(6)。
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