[发明专利]一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片及其制备方法

摘要

本发明提供一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片，包括面阵图像传感器和超表面结构滤光片阵列，所述超表面结构滤光片阵列包括两层纳米膜钝化层及位于两层纳米膜钝化层之间的金属纳米孔周期阵列结构；所述超表面结构滤光片阵列位于面阵图像传感器上；所述金属纳米孔周期阵列结构包括金属介质膜层，所述金属介质膜层上具有不同尺寸的周期性纳米孔阵列。本发明通过在同一厚度金属介质膜层上制备不同尺寸的周期性纳米结构阵列，实现对目标图像在多光谱谱段上的窄带滤光；本发明适用于更精细的图谱信息采集，在图像传感器表面制备金属纳米周期性结构，实现面阵多光谱芯片，在工艺上更易于实现，并具有广泛的适用性。

主权项

1.一种基于超表面窄带滤光的多光谱芯片，其特征在于：包括面阵图像传感器和超表面结构滤光片阵列，所述超表面结构滤光片阵列包括两层纳米膜钝化层及位于两层纳米膜钝化层之间的金属纳米孔周期阵列结构；所述超表面结构滤光片阵列位于面阵图像传感器上；所述金属纳米孔周期阵列结构包括金属介质膜层，所述金属介质膜层上具有不同尺寸的周期性纳米孔阵列；所述金属纳米孔周期阵列结构包括N个相同的滤光区域，每一个滤光区域由M种不同结构参数的金属纳米孔阵列组成，其中该M种不同结构参数的金属纳米孔阵列的纳米孔径大小分别为D1、D2，……DM，周期大小分别为P1、P2，……PM，每种金属纳米孔阵列视为一个滤光片单元，所述滤光片单元的大小与图像传感器像元大小相同，其中N和M均为大于等于2的正整数。