[发明专利]一种电镀法制备太阳电池栅线电极的方法在审
申请号: | 201611233483.5 | 申请日: | 2016-12-28 |
公开(公告)号: | CN106684163A | 公开(公告)日: | 2017-05-17 |
发明(设计)人: | 李晓东;肖志斌;杜永超;孙希鹏;铁剑锐;梁存宝;王鑫;许军 | 申请(专利权)人: | 中国电子科技集团公司第十八研究所;天津恒电空间电源有限公司 |
主分类号: | H01L31/0224 | 分类号: | H01L31/0224;H01L31/18 |
代理公司: | 北京国昊天诚知识产权代理有限公司 11315 | 代理人: | 刘昕 |
地址: | 300384 天津*** | 国省代码: | 天津;12 |
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摘要: | 本发明提供一种电镀法制备太阳电池栅线电极的方法,包括栅线电极光刻板的设计、太阳电池预处理、电镀和加热处理四步骤,完成太阳电池栅线电极的制备,电镀时通过调节太阳电池各部分在电解液中停留的时间,达到太阳电池不同位置栅线不等高和不等宽的效果。本发明的有益效果是可以实现太阳电池栅线的高度渐变,相对于PVD方式制备的栅线,这种栅线形状是一种更加符合上电极电流传输的理想形状,其更加适合上电极的电流传输,与PVD方法相比,本发明造成的另外一种有益效果是,本发明可以在电池栅线所有暴露表面都电镀有保护层,可以有效保证内部金属免受外界腐蚀影响。 | ||
搜索关键词: | 一种 电镀 法制 太阳电池 电极 方法 | ||
【主权项】:
1.一种电镀法制备太阳电池栅线电极的方法,其特征在于:包括以下步骤:步骤一:栅线电极光刻板设计:根据对电镀速率和进入电镀液速率的优化进行设计;步骤二:太阳电池预处理:对太阳电池进行光刻处理、腐蚀处理和蒸镀金属附着层,得到太阳电池表面的栅线金属图形;步骤三:电镀,调节太阳电池各部分在电镀液中停留的时间,得到太阳电池不同位置栅线不等高高度和不等宽宽度;步骤四:加热处理:采用热箱烘烤或者快速热退火处理方式对太阳电池进行加固,得到太阳电池栅线电极。
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H01L31-0248 .以其半导体本体为特征的
H01L31-04 .用作转换器件的
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