[发明专利]压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法有效
| 申请号： | 201611224574.2 | 申请日： | 2016-12-27 |
| 公开（公告）号： | CN107053848B | 公开（公告）日： | 2018-10-19 |
| 发明（设计）人： | 酒井朋裕;北田和也;角浩二 | 申请（专利权）人： | 精工爱普生株式会社 |
| 主分类号： | B41J2/14 | 分类号： | B41J2/14 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 李洋;青炜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 日本;JP |
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| 摘要： | 本发明提供压电元件、压电元件应用设备以及压电元件的制造方法。一种压电元件，具备第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，上述第1压电体膜形成在第1电极上且含有钾、钠以及铌，上述多个第2压电体膜形成在第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；以及第2电极，该第2电极形成在压电体层上，压电体层是多个压电体膜的层叠体，第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，分别的压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在第1电极侧高，在第2电极侧低。 | ||
| 搜索关键词： | 压电体膜 压电元件 电极 压电体层 应用设备 电极形成 膜厚方向 层叠体 制造 | ||
【主权项】：
1.一种压电元件，其特征在于，所述压电元件具有：第1电极；压电体层，该压电体层包括第1压电体膜和多个第2压电体膜，所述第1压电体膜形成在所述第1电极上且含有钾、钠以及铌，所述多个第2压电体膜形成在所述第1压电体膜上且含有钾、钠以及铌；第2电极，该第2电极形成在所述压电体层上，所述压电体层是多个压电体膜的层叠体，所述第1压电体膜具有30nm以上且70nm以下的厚度，各个所述压电体膜内的钠的浓度沿膜厚方向形成梯度，在所述第1电极侧高，在所述第2电极侧低，并且各个所述压电体膜内的钠浓度的形成梯度在各个所述压电体膜间均相同。
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