[发明专利]一种半导体芯片的全自动检测机有效

专利信息
申请号: 201611220392.8 申请日: 2016-12-26
公开(公告)号: CN106847722B 公开(公告)日: 2019-05-10
发明(设计)人: 邓君;黄红梅;邓凯;李培 申请(专利权)人: 山东阅芯电子科技有限公司
主分类号: H01L21/66 分类号: H01L21/66
代理公司: 北京智行阳光知识产权代理事务所(普通合伙) 11738 代理人: 黄锦阳
地址: 264200 山东*** 国省代码: 山东;37
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摘要: 发明涉及一种半导体芯片的全自动检测机,它包括机架、配电控制箱和操作显示屏,机架上设置有中部转盘检测装置和侧部转盘检测装置,中部转盘检测装置包括中部转轴,中部转轴套接有中部检测转盘和中部安装转盘,中部检测转盘上开设有检测孔,且中部安装转盘上安装有穿出检测孔的取料装置,侧部转盘检测装置包括与侧部转动电机连接的侧部转轴,侧部转轴上套接有侧部转盘,侧部转盘上设置有与半导体芯片配合的载具,侧部转盘位于中部转盘的下部,侧部转盘上的一个载具与穿过中部转盘的一个取料装置对接;本发明通过中部转盘检测装置和侧部转盘检测装置相互配合,实现半导体芯片的多个检测工序一体化进行,极大的提高了检测的效率,降低了检测工时。
搜索关键词: 一种 半导体 芯片 全自动 检测
【主权项】:
1.一种半导体芯片的全自动检测机,它包括机架(1)、配电控制箱(2)和操作显示屏(3),其特征在于,所述的机架(1)上设置有相互配合的中部转盘检测装置(6)和侧部转盘检测装置(7),所述的中部转盘检测装置(6)包括与中部转动电机连接的逆时针转动的中部转轴(11),所述的中部转轴(11)从下至上依次套接有中部检测转盘(12)和中部安装转盘(13),所述的中部检测转盘(12)上均匀的开设有检测孔,且中部安装转盘(13)上安装有穿出检测孔的取料装置(14),所述的中部检测转盘(12)的下方依次设置有与取料装置(14)上的半导体芯片配合的光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)、电阻率检测装置(17)和上部视觉检测装置(18),所述的电阻率检测装置(17)的个数不少于三个,所述的侧部转盘检测装置(7)包括与侧部转动电机连接的侧部转轴(33),所述的侧部转轴(33)上套接有侧部转盘(34),所述的侧部转盘(34)上设置有与半导体芯片配合的载具,所述的侧部转盘(34)位于中部检测转盘(12)的下部,且侧部转盘(34)与中部检测转盘(12)配合时,侧部转盘(34)上的一个载具与穿过中部检测转盘(12)的一个取料装置(14)对接,所述的侧部转盘(34)的上方外围设置有与载具上的半导体芯片配合的导电检测器(36)和下部视觉检测装置(37),所述的导电检测器的个数不少于三个,且每个导电检测器(36)配合有一个条件调节装置(35),所述的中部转动电机、侧部转动电机、取料装置(14)、光电检测装置(15)、电阻检测装置(16)、电阻率检测装置(17)、上部视觉检测装置(18)、导电检测器(36)、条件调节装置(35)和下部视觉检测装置(37)连接到配电控制箱(2)。
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