[发明专利]一种冷却器及制备碳纳米管的高真空系统在审
| 申请号: | 201611219442.0 | 申请日: | 2016-12-26 |
| 公开(公告)号: | CN108240725A | 公开(公告)日: | 2018-07-03 |
| 发明(设计)人: | 宋晓彬;王晓飞;赵福平;郑建宇;杨海燕;周蓉 | 申请(专利权)人: | 北京北方华创微电子装备有限公司 |
| 主分类号: | F25D1/02 | 分类号: | F25D1/02;C01B32/16 |
| 代理公司: | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人: | 汤财宝 |
| 地址: | 100176 北京*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明涉及碳纳米管制备技术领域,尤其涉及一种冷却器及制备碳纳米管的高真空系统,包括壳体、端盖、水冷环、进气管和出气管,壳体与端盖连接,水冷环设置于壳体内部,水冷环包括定位筒和水冷管,定位筒一端与端盖连接,另一端与壳体之间留有空隙,水冷管螺旋缠绕并焊接在定位筒外壁上,水冷管的两端均穿过端盖与外界冷却水源连通,进气管与壳体连通,出气管穿过壳体伸入定位筒内,以使气体通入壳体中接触水冷管后进入定位筒中,通过出气管排出。本发明降低高温气体温度的同时又将粉尘到达下游管道和元器件前将其吸附掉,起到保护下游真空管道和元器件,减少真空元器件维护维修时间,不仅延长了真空元器件的使用寿命,满足规模化生产的要求。 | ||
| 搜索关键词: | 定位筒 壳体 水冷管 端盖 元器件 出气管 水冷环 高真空系统 制备碳纳米 进气管 冷却器 连通 穿过 规模化生产 外界冷却水 高温气体 壳体内部 螺旋缠绕 使用寿命 维护维修 下游管道 下游真空 碳纳米 排出 入壳 伸入 外壁 吸附 焊接 粉尘 管制 | ||
【主权项】:
1.一种冷却器,其特征在于:包括壳体、端盖、水冷环、进气管和出气管,所述壳体与所述端盖连接,所述水冷环设置于所述壳体内部,所述水冷环包括定位筒和水冷管,所述定位筒一端与所述端盖连接,另一端与所述壳体之间留有空隙,所述水冷管螺旋缠绕并焊接在所述定位筒外壁上,所述水冷管的两端均穿过所述端盖与外界冷却水源连通,所述进气管与所述壳体连通,所述出气管穿过所述壳体伸入所述定位筒内,以使气体通入所述壳体中接触所述水冷管后进入所述定位筒中,通过所述出气管排出。
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