[发明专利]一种环形电子枪在审
| 申请号： | 201611218977.6 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN108242379A | 公开（公告）日： | 2018-07-03 |
| 发明（设计）人： | 薛文卿;胡超;杨晨;张月圆;钱奇;朱希进 | 申请（专利权）人： | 无锡中微掩模电子有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/065 | 分类号： | H01J37/065 |
| 代理公司： | 常州佰业腾飞专利代理事务所(普通合伙) 32231 | 代理人： | 鞠明 |
| 地址： | 214135 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子枪技术领域，尤其涉及一种环形电子枪，包括灯丝和环形的内圆壁，环形的内圆壁上对称的安装偶数个发射电子的枪口，每个枪口设置一个单点发射电子束装置，由单点发射电子束装置发出的起中和作用的电子束同时从偶数个对称布置的枪口流出，多点发射电子束装置所用的多个灯丝以并联或串联的方式连接。本发明涉及利用环形电子枪对离子束更全面，更完善，更有效地中和作用,从而提高修补位置精度或离子注入机的离子束斑尺寸精度；使修补机二次电子成像清晰度和均匀度更高。 | ||
| 搜索关键词： | 电子束装置 环形电子枪 枪口 中和作用 内圆壁 单点 灯丝 发射 电子束 二次电子成像 离子注入机 对称布置 发射电子 离子束斑 修补位置 电子枪 均匀度 离子束 修补机 有效地 并联 串联 对称 流出 | ||
【主权项】：
1.一种环形电子枪，其特征在于：包括灯丝和环形的内圆壁，所述环形的内圆壁上对称地安装偶数个发射电子的枪口，每个枪口设置一个单点发射电子束装置，由单点发射电子束装置发出的起中和作用的电子束同时从偶数个对称布置的枪口流出，多点发射电子束装置所用的多个灯丝以并联或串联的方式连接。
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