[发明专利]一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法有效
| 申请号： | 201611218565.2 | 申请日： | 2016-12-26 |
| 公开（公告）号： | CN106815871B | 公开（公告）日： | 2019-12-17 |
| 发明（设计）人： | 李中伟;刘行健;史玉升;钟凯 | 申请（专利权）人： | 华中科技大学 |
| 主分类号： | G06T7/80 | 分类号： | G06T7/80 |
| 代理公司： | 42201 华中科技大学专利中心 | 代理人： | 王世芳 |
| 地址： | 430074 湖北*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法，属于计算机视觉领域，其包括S1:建立扫描电子显微镜成像系统的放大倍率m与在该放大倍率下扫描电子显微镜成像系统成像模型矩阵K间的关系，进而推算获得成像模型，S2：解算模型矩阵K，获得扫描电子显微镜成像系统的模型。本发明方法基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数随着放大倍率的连续性变化原理，建立了基于扫描电子显微镜成像系统的模型参数与放大倍率之间的函数映射，在此基础上建立了成像模型，该模型可在实际工程中应用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 扫描 电子显微镜 成像 系统 建模 方法 | ||
【主权项】：
1.一种扫描电子显微镜成像系统的建模方法，其特征在于，其包括如下步骤：/nS1：建立扫描电子显微镜成像系统的放大倍率m与在该放大倍率下扫描电子显微镜成像系统成像模型矩阵K间的关系，进而推算获得成像模型，所述成像模型如下：/nsp＝Kp
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