[发明专利]薄膜晶体管阵列基板及制作方法和液晶显示面板有效
| 申请号： | 201611193128.X | 申请日： | 2016-12-21 |
| 公开（公告）号： | CN106483726B | 公开（公告）日： | 2023-07-25 |
| 发明（设计）人： | 徐芸;刘飒 | 申请（专利权）人： | 昆山龙腾光电股份有限公司 |
| 主分类号： | G02F1/1362 | 分类号： | G02F1/1362;H01L27/12;H01L21/77 |
| 代理公司： | 上海波拓知识产权代理有限公司 31264 | 代理人： | 蔡光仟 |
| 地址： | 215301 *** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 一种薄膜晶体管阵列基板及制作方法和液晶显示面板，其中薄膜晶体管阵列基板包括衬底；形成在衬底上的第一金属层，第一金属层包括扫描线和栅极；覆盖在第一金属层上的第一绝缘层；形成在第一绝缘层上的有源层；形成在第一绝缘层上的第二金属层，第二金属层包括源极和漏极；覆盖在第二金属层上的第二绝缘层，第二绝缘层中设有第一接触孔和第二接触孔；形成在第二绝缘层上的第三金属层，第三金属层包括数据线和导电块，数据线通过第一接触孔与源极连接，导电块通过第二接触孔与漏极连接；覆盖在第三金属层上的第三绝缘层，第三绝缘层中设有第三接触孔；形成在第三绝缘层上的像素电极，像素电极通过第三接触孔与导电块连接。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜晶体管 阵列 制作方法 液晶显示 面板 | ||
【主权项】：
一种薄膜晶体管阵列基板，其特征在于，包括：衬底(10)；形成在该衬底(10)上的第一金属层，其中该第一金属层包括扫描线(11)和栅极(141)；覆盖在该第一金属层上的第一绝缘层(16)；形成在该第一绝缘层(16)上的有源层(144)；形成在该第一绝缘层(16)上的第二金属层，其中该第二金属层包括源极(142)和漏极(143)，该源极(142)和该漏极(143)分别与该有源层(144)连接；覆盖在该第二金属层上的第二绝缘层(17)，其中该第二绝缘层(17)中设有第一接触孔(171)和第二接触孔(172)；形成在该第二绝缘层(17)上的第三金属层，其中该第三金属层包括数据线(12)和导电块(120)，该数据线(12)通过该第一接触孔(171)与该源极(142)和该漏极(143)其中之一连接，该导电块(120)通过该第二接触孔(172)与该源极(142)和该漏极(143)其中之另一连接；覆盖在该第三金属层上的第三绝缘层(18)，其中该第三绝缘层(18)中设有第三接触孔(181)；形成在该第三绝缘层(18)上的像素电极(15)，该像素电极(15)通过该第三接触孔(181)与该导电块(120)连接。
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