[发明专利]用于测量对象的位置的光学装置

摘要

本发明涉及一种用于测量对象(B)沿着第一轴(z)的位置的光学装置(1)，其包括：光学成像系统(5)，其包括用于收集被对象(B)散射的光辐射的物镜(53)；透射掩膜(8)，其至少具有第一小孔(81,83)和第二小孔(82,84)，分离布置(9)，其用于沿着垂直于第一轴和第二轴的第三轴(y)而在相反的方向上将来辐射的第一部分(R1)与辐射的第二部分(R2)分离；以及检测器(6)，其具有检测器平面(61)，检测器(6)适合于生成包括第一光斑(S1)和第二光斑(S2)的图像，其中，对象(B)沿着第一轴(z)相对于成像系统的对象平面的位置变化引起第一光斑(S1)和第二光斑(S2)沿着第二轴(x)相对于彼此的位置变化。

主权项

1.一种用于测量对象(B)沿着第一轴(z)的位置的光学装置(1)，所述对象(B)经受由光源(2,21,22)发射的光辐射，所述光学装置(1)包括：‑光学成像系统(5)，其包括用于收集被对象(B)散射的光辐射的物镜(53)，所述物镜(53)具有平行于第一轴(z)延伸的光轴(O)，‑透射掩膜(8)，其至少具有第一小孔(81,83)和第二小孔(82,84)，第一小孔和第二小孔沿着垂直于第一轴(z)的第二轴(x)相互间隔开，所述透射掩膜(8)被布置成从而让被对象(B)散射的辐射的第一部分(R1)和辐射的第二部分(R2)分别地通过第一小孔和第二小孔，同时阻挡未被对象散射的由光源发射的辐射的一部分(R3)，‑分离布置(9)，其用于沿着垂直于第一轴和第二轴的第三轴(y)而在相反的方向上将来辐射的第一部分(R1)与辐射的第二部分(R2)分离，以及‑检测器(6)，其具有检测器平面(61)，所述检测器(6)适合于生成包括第一光斑(S1)和第二光斑(S2)的图像，第一光斑(S1)和第二光斑(S2)表示撞击检测器平面(61)的辐射的已分离的第一部分(R1)和第二部分(R2)，其中，对象(B)沿着第一轴(z)相对于成像系统的对象平面的位置变化引起第一光斑(S1)和第二光斑(S2)沿着第二轴(x)相对于彼此的位置变化。