[发明专利]一种OTS材料、选通管单元及其制作方法在审
| 申请号： | 201611151682.1 | 申请日： | 2016-12-14 |
| 公开（公告）号： | CN106784309A | 公开（公告）日： | 2017-05-31 |
| 发明（设计）人： | 吴良才;宋志棠;刘广宇;封松林 | 申请（专利权）人： | 中国科学院上海微系统与信息技术研究所 |
| 主分类号： | H01L45/00 | 分类号： | H01L45/00 |
| 代理公司： | 上海光华专利事务所31219 | 代理人： | 余明伟 |
| 地址： | 200050 *** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明提供一种OTS材料、选通管单元及其制作方法，所述OTS材料为包括Ge、Se及As三种元素的化合物，所述OTS材料的化学通式为GexSeyAs100‑x‑y，其中，x、y为元素的原子百分比，且10<x<60、20<y<100‑x、4<100‑x‑y<55。通过本发明提供的一种OTS材料、选通管单元及其制作方法，解决了现有的选通管存在阈值电压高、开关比低、及关态漏电高的问题。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 ots 材料 选通管 单元 及其 制作方法 | ||
【主权项】：
一种OTS材料，其特征在于，所述OTS材料为包括Ge、Se及As三种元素的化合物，所述OTS材料的化学通式为GexSeyAs100‑x‑y，其中，x、y为元素的原子百分比，且10<x<60、20<y<100‑x、4<100‑x‑y<55。
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