[发明专利]用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置以及方法在审
| 申请号： | 201611133623.1 | 申请日： | 2016-12-10 |
| 公开（公告）号： | CN108227113A | 公开（公告）日： | 2018-06-29 |
| 发明（设计）人： | 方斌;田伟;苗二龙;隋永新 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B7/192 | 分类号： | G02B7/192;G02B7/198;G02B7/18;G01B11/24 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 赵勍毅 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置，包括：柔性支撑镜框，柔性支撑结构，镜框调整架，电阻片，控制板卡，及固定螺钉；所述柔性支撑镜框通过所述柔性支撑结构与反射镜光学元件连接；所述镜框调整架与所述柔性支撑镜框通过螺钉固定连接；所述电阻片与反射镜光学元件的背面共面；所述控制板卡通过线缆连接所述电阻片，用于控制所述电阻片的温度。本发明一方面能够实现反射镜光学元件的低应力支撑，另一方面可以补偿反射镜自身重力作用引起的像差，最终能够实现亚纳米精度的光学检测。 | ||
| 搜索关键词： | 反射镜光学 镜框 电阻片 柔性支撑 柔性支撑结构 角度调整 控制板卡 像差补偿 调整架 自身重力作用 补偿反射镜 固定螺钉 光学检测 螺钉固定 线缆连接 元件连接 低应力 亚纳米 像差 背面 支撑 | ||
【主权项】：
1.一种用于反射镜光学元件角度调整及像差补偿的装置，其特征在于，包括：柔性支撑镜框，柔性支撑结构，镜框调整架，电阻片，控制板卡，及固定螺钉；所述柔性支撑镜框通过所述柔性支撑结构与反射镜光学元件连接；所述镜框调整架与所述柔性支撑镜框通过所述固定螺钉固定连接；所述电阻片与反射镜光学元件的背面共面；所述控制板卡通过线缆连接所述电阻片，用于控制所述电阻片的温度。
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