[发明专利]磁-电-热多参量耦合显微镜探针、其制备方法与探测方法有效

专利信息
申请号: 201611131652.4 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN106597026B 公开(公告)日: 2019-04-19
发明(设计)人: 王保敏;胡帅;杨华礼;陈斌;李润伟 申请(专利权)人: 中国科学院宁波材料技术与工程研究所
主分类号: G01Q70/14 分类号: G01Q70/14;G01Q70/18;G01Q60/00
代理公司: 宁波元为知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 33291 代理人: 单英
地址: 315201 浙江*** 国省代码: 浙江;33
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摘要: 发明提供了一种磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针,包括探针臂,以及与探针臂相连的针尖本体,自探针臂与针尖本体表面向外,依次覆盖着金属热电阻层、导热绝缘层、磁性导电层;金属热电阻层与外部电路构成热电回路;磁性导电层与样品、外部电路构成导电回路。该探针结构简单、制备难度低,能够原位微区探测磁电功能材料的磁信号、电信号和热信号,并且能够有效避免热电回路与电回路之间的信号干扰。
搜索关键词: 参量 耦合 显微镜 探针 制备 方法 探测
【主权项】:
1.一种热信号与导电信号可同时探测并且互不干扰的磁‑电‑热多参量耦合显微镜探针,包括探针臂,以及与探针臂相连的针尖本体,所述探针本体的尖端用于与样品接触或者非接触,以测量样品的热、电、磁信号;其特征是:自探针臂与针尖本体表面向外,依次覆盖着金属热电阻层、导热绝缘层、磁性导电层;所述的金属热电阻层覆盖着至少部分探针臂与部分针尖本体表面,并且覆盖着探针本体的尖端;所述的金属热电阻层与外部电路构成热电回路;所述的导热绝缘层覆盖着整个探针臂与针尖本体表面;所述的磁性导电层覆盖着整个探针臂与针尖本体表面;所述的磁性导电层与样品、外部电路构成导电回路。
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