[发明专利]一种蒸镀设备及蒸镀方法

摘要

本发明提供一种蒸镀设备及蒸镀方法，利用支撑台依次水平承载金属掩膜板和待蒸镀基板，通过在金属掩膜板的下方与金属掩膜板的非蒸镀区相对应的位置设置吸附装置，以吸附金属掩膜板的下表面，吸附装置可以向金属掩膜板施加竖直向下的作用力，增大金属掩膜板与支撑台之间的摩擦力。通过在待蒸镀基板上压覆盖板，借助盖板的重力对待蒸镀基板施加压力，增大待蒸镀基板与金属掩膜板之间的摩擦力。在蒸镀过程中，当支撑台转动时，可以避免金属掩膜板与支撑台间的相对运动，同时，也可以避免待蒸镀基板与金属掩膜板间的相对运动，提高金属掩膜板与待蒸镀基板的对位精度，使点源蒸镀材料能够准确蒸镀到待蒸镀基板上，解决OLED混色不良的问题。

主权项

1.一种蒸镀设备，包括用于依次水平承载金属掩膜板和待蒸镀基板的支撑台，其特征在于，还包括吸附装置、盖板和升降装置，所述盖板压覆于所述待蒸镀基板上，所述吸附装置位于所述金属掩膜板的下方，且与所述金属掩膜板的非蒸镀区相对应，用于吸附所述金属掩膜板，并将所述金属掩膜板固定在所述支撑台上；所述吸附装置为磁力吸附装置，所述磁力吸附装置包括磁体组件，所述磁体组件用于产生磁力，并借助产生的磁力吸附所述金属掩膜板的下表面；所述升降装置与所述磁力吸附装置相连，用于带动所述磁力吸附装置沿竖直方向运动；并且，当所述磁力吸附装置为多个时，所述升降装置为一个，用于同时带动各个所述磁力吸附装置沿竖直方向运动；或者，所述升降装置为多个，各个所述升降装置分别带动各个所述磁力吸附装置同步沿竖直方向运动。