[发明专利]一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统在审

专利信息
申请号: 201611129044.X 申请日: 2016-12-09
公开(公告)号: CN106443075A 公开(公告)日: 2017-02-22
发明(设计)人: 李鹏飞;曹毅;王炜 申请(专利权)人: 南京大学
主分类号: G01Q30/10 分类号: G01Q30/10
代理公司: 江苏银创律师事务所32242 代理人: 孙计良
地址: 210001 江*** 国省代码: 江苏;32
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摘要: 发明公开了一种用于原子力显微镜的温控样品台和温控系统。其中,温控样品台包括台面板、样品池和温控室。样品池设于台面板上,内固定有测温探头;测温探头外接有测温接头。温控室设于台面板下方,为样品池正下方的腔体,内设有半导体温控片和散热盘管。半导体温控片外接有温控接头。散热盘管外接有进水接头和出水接头。温控系统由温度测控仪、蠕动泵以及上述的温控样品台组成。温度测控仪连接测温探头和半导体温控片。蠕动泵连接散热盘管。本发明由于样品池尺寸本身很小,因此,温度调整快捷,并且目标温度控制精确,而且能耗小。
搜索关键词: 一种 用于 原子 显微镜 温控 样品 系统
【主权项】:
一种用于原子力显微镜的温控样品台,其特征在于,包括台面板(11)、样品池(12)和温控室(13);台面板(11)为圆形盘面结构;样品池(12)设于台面板(11)上,内固定有测温探头(21);测温探头(21)外接有测温接头(31);温控室(13)设于台面板(11)下方,为样品池(12)正下方的腔体,内设有半导体温控片(22)和散热盘管(23);半导体温控片(22)位于散热盘管(23)的上方,并紧贴台面板(11);半导体温控片(22)外接有温控接头(32);散热盘管(23)外接有进水接头(331)和出水接头(332)。
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