[发明专利]一种柔性耐高温BaTi1-xCoxO3阻变存储器

摘要

本发明公开了一种柔性耐高温BaTi_1‑xCo_xO₃阻变存储器，其结构为：衬底上设置底电极，底电极上设置BaTi_1‑xCo_xO₃阻变功能层，x为0.05至0.3，功能层上设置顶电极，所述衬底为柔性云母。本发明的柔性耐高温阻变存储器具有优异的阻变性质，且柔性弯折性好，弯曲半径为1mm时，至少抗10⁶次弯曲，阻变性质无明显变化；耐高温性优异，在500℃退火后仍能保持良好的阻变性能，在柔性存储器及柔性电子器件领域中有良好的应用前景。

主权项

1.一种阻变存储器，其特征在于，衬底上设置底电极，底电极上设置BaTi_1‑xCo_xO₃阻变功能层，x为0.05至0.3，功能层上设置顶电极，所述衬底为柔性云母，该存储器的最小弯曲半径为1mm，最小抗弯曲次数为10⁶次，其中，柔性云母的厚度为0.5μm至10μm；底电极为SrRuO₃薄膜；顶电极为Au薄膜。