[发明专利]用于在使用寿命中稳定空穴内部压力的附加面在审
| 申请号： | 201611108178.3 | 申请日： | 2016-12-06 |
| 公开（公告）号： | CN106946218A | 公开（公告）日： | 2017-07-14 |
| 发明（设计）人： | A·布莱特林;F·赖兴巴赫;J·莱茵穆特;J·阿姆托尔 | 申请（专利权）人： | 罗伯特·博世有限公司 |
| 主分类号： | B81B7/02 | 分类号： | B81B7/02;B81C1/00;G01P3/00;G01P15/00 |
| 代理公司： | 永新专利商标代理有限公司72002 | 代理人： | 侯鸣慧 |
| 地址： | 德国斯*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 本发明提出一种用于制造微机械构件的方法，具有衬底和与衬底连接并且与衬底包围第一空穴的罩，其中，在第一空穴中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤中，在衬底或在罩中构造连接第一空穴与微机械构件周围环境的进入开口，其中，‑在第二方法步骤中，调节在第一空穴中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤中，通过借助于激光器将能量或热量引入到衬底或罩的吸收部分中来封闭进入开口，其特征在于，在第四方法步骤中，用于继续调节第一压力和/或第一化学组分的吸气剂材料在衬底的面向第一空穴的第一表面上和/或在罩的面向第一空穴的第二表面上沉积或者生长。 | ||
| 搜索关键词： | 用于 使用寿命 稳定 空穴 内部 压力 附加 | ||
【主权项】：
用于制造微机械构件(1)的方法，该微机械构件具有衬底(3)和与所述衬底(3)连接并且与所述衬底(3)包围第一空穴(5)的罩(7)，其中，在所述第一空穴(5)中存在第一压力并且包含具有第一化学组分的第一气体混合物，其中，‑在第一方法步骤(101)中，在所述衬底(3)或所述在罩(7)中构造连接第一空穴(5)与所述微机械构件(1)周围环境(9)的进入开口(11)，其中，‑在第二方法步骤(102)中，调节在所述第一空穴(5)中的第一压力和/或第一化学组分，其中，‑在第三方法步骤(103)中，通过借助于激光将能量或热量引入到所述衬底(3)或所述罩(7)的吸收部分中来封闭所述进入开口(11)，其特征在于，在第四方法步骤中，用于继续调节所述第一压力和/或所述第一化学组分的吸气剂材料(701)在所述衬底(3)的面向所述第一空穴(5)的第一表面上和/或在所述罩(7)的面向所述第一空穴(5)的第二表面上沉积或者生长。
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