[发明专利]一种制备超平整石墨烯的方法有效

专利信息
申请号: 201611094399.X 申请日: 2016-12-02
公开(公告)号: CN106521450B 公开(公告)日: 2019-05-28
发明(设计)人: 彭海琳;邓兵;刘忠范 申请(专利权)人: 北京大学
主分类号: C23C16/02 分类号: C23C16/02;C23C16/26;C25F3/22;C22F1/08;C22F1/02
代理公司: 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 代理人: 关畅
地址: 100871 北京市*** 国省代码: 北京;11
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摘要: 发明公开了一种制备超平整石墨烯的方法。该方法包括如下步骤:对铜箔进行抛光后退火至所述铜箔取向占优的晶面为(111),再进行石墨烯的生长,停止生长得到所述平整石墨烯。本发明采用平整铜箔的(111)晶面以及合适的化学反应窗口制备了超平整石墨烯。超平整石墨烯的平整度达到0.5nm,远优于普通铜箔上生长的石墨烯。利用该方法所得超平石墨烯具有优于粗糙石墨烯的抗腐蚀性能。
搜索关键词: 一种 制备 平整 石墨 方法
【主权项】:
1.一种制备平整石墨烯的方法,包括如下步骤:对铜箔进行抛光后退火至所述铜箔取向占优的晶面为(111),再进行石墨烯的生长,停止生长得到所述平整石墨烯;所述铜箔为平整且没有局部粗糙度的铜箔;所述抛光步骤中,抛光方法为电化学抛光;所述退火步骤中,退火气氛为氢气气氛;氢气的流量为10‑300sccm;温度为950‑1050℃;时间为30‑60min;所述石墨烯的生长步骤中,碳源气体选自甲烷、乙烯和乙炔中的至少一种;氢气与所述碳源气体的流量比不大于100:1;氢气的流量为10‑300sccm;碳源气体的流量为1‑100 sccm;生长时间为10‑100min。
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