[发明专利]一种制备超平整石墨烯的方法有效
| 申请号: | 201611094399.X | 申请日: | 2016-12-02 |
| 公开(公告)号: | CN106521450B | 公开(公告)日: | 2019-05-28 |
| 发明(设计)人: | 彭海琳;邓兵;刘忠范 | 申请(专利权)人: | 北京大学 |
| 主分类号: | C23C16/02 | 分类号: | C23C16/02;C23C16/26;C25F3/22;C22F1/08;C22F1/02 |
| 代理公司: | 北京纪凯知识产权代理有限公司 11245 | 代理人: | 关畅 |
| 地址: | 100871 北京市*** | 国省代码: | 北京;11 |
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| 摘要: | 本发明公开了一种制备超平整石墨烯的方法。该方法包括如下步骤:对铜箔进行抛光后退火至所述铜箔取向占优的晶面为(111),再进行石墨烯的生长,停止生长得到所述平整石墨烯。本发明采用平整铜箔的(111)晶面以及合适的化学反应窗口制备了超平整石墨烯。超平整石墨烯的平整度达到0.5nm,远优于普通铜箔上生长的石墨烯。利用该方法所得超平石墨烯具有优于粗糙石墨烯的抗腐蚀性能。 | ||
| 搜索关键词: | 一种 制备 平整 石墨 方法 | ||
【主权项】:
1.一种制备平整石墨烯的方法,包括如下步骤:对铜箔进行抛光后退火至所述铜箔取向占优的晶面为(111),再进行石墨烯的生长,停止生长得到所述平整石墨烯;所述铜箔为平整且没有局部粗糙度的铜箔;所述抛光步骤中,抛光方法为电化学抛光;所述退火步骤中,退火气氛为氢气气氛;氢气的流量为10‑300sccm;温度为950‑1050℃;时间为30‑60min;所述石墨烯的生长步骤中,碳源气体选自甲烷、乙烯和乙炔中的至少一种;氢气与所述碳源气体的流量比不大于100:1;氢气的流量为10‑300sccm;碳源气体的流量为1‑100 sccm;生长时间为10‑100min。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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