[发明专利]含类金刚石复合涂层及其制备方法有效
申请号: | 201611093220.9 | 申请日: | 2016-12-01 |
公开(公告)号: | CN106756820B | 公开(公告)日: | 2019-04-05 |
发明(设计)人: | 唐永炳;朱海莉;蒋春磊;申京受 | 申请(专利权)人: | 深圳先进技术研究院 |
主分类号: | C23C14/32 | 分类号: | C23C14/32;C23C14/35;C23C14/06;C23C14/14;C23C14/02 |
代理公司: | 深圳中一专利商标事务所 44237 | 代理人: | 左光明 |
地址: | 518055 广东省深圳*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | 本发明公开了一种含类金刚石复合涂层及其制备方法和含有含类金刚石复合涂层的耐磨器件。本发明含类金刚石复合涂层包括结合在基底表面的过渡金属层,由所述基底向所述过渡金属层延伸方法,还包括依次结合在所述过渡金属层表面的过渡金属硼化物层、类金刚石层,且所述过渡金属硼化物层与类金刚石层至少为1次的交替层叠结合,并在最外层为所述过渡金属硼化物层。含类金刚石复合涂层能够实现充分缓解类金刚石层本身的内应力,提高了含类金刚石复合涂层整体韧性以及耐磨耐腐蚀性能。该制备方法避免了繁琐的制备工艺,不仅保证了沉积的含类金刚石复合涂层性能的稳定性,而且有效降低了其制备成本。 | ||
搜索关键词: | 类金刚石复合涂层 制备 过渡金属硼化物 过渡金属层 类金刚石层 耐磨耐腐蚀性能 基底表面 交替层叠 耐磨器件 整体韧性 制备工艺 最外层 沉积 基底 缓解 延伸 保证 | ||
【主权项】:
1.一种含类金刚石复合涂层,包括结合在基底表面的过渡金属层,由所述基底向所述过渡金属层延伸方向,还包括依次结合在所述过渡金属层表面的过渡金属硼化物层、类金刚石层,且所述过渡金属硼化物层与类金刚石层至少为1次的交替层叠结合,并在最外层为所述过渡金属硼化物层。
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