[发明专利]一种氧化锌量子点增强的紫外探测器及其制备方法

摘要

本发明涉及一种氧化锌量子点增强的石墨烯/氮化镓紫外探测器及其制备方法，该石墨烯/氮化镓紫外探测器自下而上依次有衬底、导电镀膜层、氮化镓层、硼掺杂石墨烯层及氧化锌量子点层，所述的紫外探测器还设有第一电极和第二电极，第一电极设置在导电镀膜层上，第二电极设置在硼掺杂石墨烯层上。其制备方法如下：先在衬底上沉积导电镀膜层，再沉积氮化镓层；然后将石墨烯转移至氮化镓层上；在硼掺杂石墨烯层上制备氧化锌量子点层；最后在硼掺杂石墨烯层及导电镀膜层上分别制作电极，获得紫外探测器。本发明的氧化锌量子点增强的石墨烯/氮化镓紫外探测器利用氧化锌量子点引入的光生掺杂效应来获得具有高转化效率的石墨烯/氮化镓紫外探测器。

主权项

一种氧化锌量子点增强的石墨烯/氮化镓紫外探测器，其特征在于自下而上依次有衬底(1)、导电镀膜层(2)、氮化镓层(3)、硼掺杂石墨烯层(4)及氧化锌量子点层(6)，所述的紫外探测器还设有第一电极(5)和第二电极(7)，第一电极(5)设置在导电镀膜层(2)上，第二电极(7)设置在硼掺杂石墨烯层(4)上。