[发明专利]一种压力传感器及其制备方法有效
| 申请号： | 201611079246.8 | 申请日： | 2016-11-30 |
| 公开（公告）号： | CN106768513B | 公开（公告）日： | 2019-11-01 |
| 发明（设计）人： | 王紫东;彭沛;田仲政;任黎明;傅云义 | 申请（专利权）人： | 北京大学 |
| 主分类号： | G01L1/18 | 分类号： | G01L1/18 |
| 代理公司： | 北京万象新悦知识产权代理有限公司 11360 | 代理人： | 贾晓玲 |
| 地址： | 100871*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种结构简单的大量程和高精度的压力传感器及其制备方法。该方法利用表面存在大量褶皱的纳米厚度石墨材料，基于褶皱在垂直于表面的方向上的导电性会随着褶皱上承受的压力的增大而明显增大这一现象，设计了一个结构简单、易于实现的压力传感器结构。由于石墨材料表面的褶皱无处不在、密度较大，且高度各异，所以该压力传感器不仅可以在较大的量程范围内实现对压力的测量，而且对压力测量的精度也非常高，可以实现对微力的测量。另外，由于石墨材料为纳米厚度片状结构，该压力传感器还具有体积小的优势。 | ||
| 搜索关键词： | 褶皱 压力传感器 石墨材料 制备 测量 压力传感器结构 石墨材料表面 导电性 片状结构 压力测量 大量程 量程 微力 垂直 | ||
【主权项】：
1.一种压力传感器，其特征在于，包括—表面存在褶皱的石墨材料，该石墨材料为纳米厚度片状结构；所述石墨材料粘附在一片硬质金属片上的中间区域；另一片硬质金属片覆盖在石墨材料上，两片硬质金属片的边缘使用柔性绝缘材料粘连并封装，在垂直于压力传感器表面方向上的导电性会随着石墨材料表面褶皱上承受的压力的增大而明显增大。
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