[发明专利]薄膜形成装置及使用其制造显示设备的方法在审
| 申请号： | 201611076642.5 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107164733A | 公开（公告）日： | 2017-09-15 |
| 发明（设计）人： | 罗兴烈;金东昱;薛在完;郑成镐 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司11204 | 代理人： | 王达佐,刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 提供了制造显示设备的方法和薄膜形成装置。制造显示设备的方法包括制备包括炉缸和前散热器的薄膜形成装置，炉缸存储用于形成薄膜的源材料，前散热器布置在炉缸上并且包括反射板，其中，反射板包括具有第一反射率的第一表面和具有第二反射率的第二表面，第二反射率与第一反射率不同；以及通过蒸发薄膜形成装置的源材料，在衬底上形成薄膜。 | ||
| 搜索关键词： | 薄膜 形成 装置 使用 制造 显示 设备 方法 | ||
【主权项】：
薄膜形成装置，包括：炉缸，存储用于形成薄膜的源材料；以及前散热器，布置在所述炉缸上并且包括第一反射板，其中，所述第一反射板具有第一表面和第二表面，所述第一表面具有第一反射率，所述第二表面具有与所述第一反射率不同的第二反射率。
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