[发明专利]沉积设备及使用该沉积设备制造显示装置的方法有效
| 申请号： | 201611076290.3 | 申请日： | 2016-11-29 |
| 公开（公告）号： | CN107164732B | 公开（公告）日： | 2021-10-08 |
| 发明（设计）人： | 鲁硕原;金陶煐;朴国喆;尹振硕 | 申请（专利权）人： | 三星显示有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/24 | 分类号： | C23C14/24;C23C14/12 |
| 代理公司： | 北京英赛嘉华知识产权代理有限责任公司 11204 | 代理人： | 王达佐;刘铮 |
| 地址： | 韩国*** | 国省代码： | 暂无信息 |
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| 摘要： | 公开了沉积设备和制造显示装置的方法，制造显示装置的方法包括：提供互相面对的沉积源和衬底，沉积源包括旋转杆、与旋转杆接合并且具有用于存储沉积材料的存储单元的内部模块，以及覆盖旋转杆和内部模块并且具有与环境空气连通的出口的外壳；旋转沉积源中的旋转杆，使得与旋转杆接合的内部模块旋转；以及将通过外壳的出口排放的沉积材料施加至衬底上。 | ||
| 搜索关键词： | 沉积 设备 使用 制造 显示装置 方法 | ||
【主权项】：
一种沉积设备，包括：旋转杆；内部模块，与所述旋转杆接合并且包括用于存储沉积材料的存储单元；以及外壳，覆盖所述旋转杆和所述内部模块并且具有与环境空气连通的出口。
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