[发明专利]一种光源曝光剂量控制系统及控制方法

摘要

本发明公开了一种光源曝光剂量控制系统及控制方法，该系统包括LED光源、匀光单元、能量探测单元，以及分别与所述LED光源和能量探测单元连接的曝光剂量控制单元，所述能量探测单元包括与所述LED光源或匀光单元对应的能量探测器和与硅片对应的点能量传感器。通过使用能够产生UV光线的LED光源代替现有的汞灯光源，避免出现汞灯破裂之后有害金属蒸汽进入环境的风险，降低了系统的危险性，使系统更安全；通过曝光剂量控制单元控制LED光源，实现曝光系统的照度调整，同时对LED光源的开闭进行控制，实现高剂量精度的硅片曝光，无需设置可变衰减器和曝光快门，降低了系统复杂度和成本，提高系统可靠性。

主权项

1.一种光源曝光剂量控制系统，其特征在于，包括：LED光源、匀光单元、能量探测单元以及分别与所述LED光源和能量探测单元连接的曝光剂量控制单元，所述能量探测单元包括与所述LED光源或匀光单元对应的能量探测器和与硅片对应的点能量传感器；其中，所述曝光剂量控制单元包括相互连接的LED光源控制器和剂量控制板卡，所述LED光源控制器与所述LED光源连接，所述剂量控制板卡分别与所述能量探测器和点能量传感器连接，所述剂量控制板卡中存有所述LED光源在不同光强下从关闭到完全熄灭过程中的累积剂量值的数据。