[发明专利]一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置

摘要

本发明公开了一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，机座上竖直升降安装有升降座，升降座上安装有水平基座，水平基座上安装有取料机构，取料机构包括支座，支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，支座上设置有同步开合机构，第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有避让凹口。该自动送取料装置通过第一吸板和第二吸板的开合从光刻版的两侧进入并直接吸附光刻版，第一吸板和第二吸板并不接触版膜，从而避免了版膜的磨损或撕裂。

主权项

一种芯片光刻机的光刻版自动送取料装置，包括机座，其特征在于：所述机座上竖直升降安装有由升降动力装置驱动的升降座，所述升降座上水平滑动安装有由水平动力装置驱动的水平基座，所述水平基座上安装有取料机构，所述取料机构包括固定于水平基座上的支座，所述支座上滑动安装有第一吸板和第二吸板，所述第一吸板和第二吸板的滑动方向相同且与水平基座的滑动方向垂直，所述支座上设置有分别与第一吸板和第二吸板连接的同步开合机构，所述第一吸板和第二吸板上均设置有负压抽吸口，该负压抽吸口与负压抽吸系统连接，所述负压抽吸口与光刻版的下板面的边缘对应，所述第一吸板或第二吸板由开合动力装置驱动，所述第一吸板和第二吸板的相对侧均设置有用于避让光刻版吸附底座的避让凹口。