[发明专利]一种炉管尾气处理管道有效
申请号: | 201611059866.5 | 申请日: | 2016-11-22 |
公开(公告)号: | CN106435520B | 公开(公告)日: | 2018-11-09 |
发明(设计)人: | 张乐成;王智;苏俊铭 | 申请(专利权)人: | 上海华力微电子有限公司 |
主分类号: | C23C16/34 | 分类号: | C23C16/34;C23C16/44 |
代理公司: | 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 | 代理人: | 吴世华;陈慧弘 |
地址: | 201210 上海市浦*** | 国省代码: | 上海;31 |
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摘要: | 本发明公开了一种炉管尾气处理管道,在外管内并列设有第一、第二内管,第一、第二内管独立设有加热元件,并可通过设于其两端的分路切换阀的切换择一地与外部导通,外管两端连接有接头,接头独立设有加热元件,第一、第二内管分别设有进水口和出水口,用于进出清洗介质;本发明可有效减少副产物在管道内的堆积,降低管道堵塞的几率,保护炉管中工艺产品的安全性;并且自带清洗的功能可使得管道在安装后无须经常更换和清洗,减少了设备的宕机时间。 | ||
搜索关键词: | 一种 炉管 尾气 处理 管道 | ||
【主权项】:
1.一种炉管尾气处理管道,其特征在于,包括:外管;第一、第二内管,并列设于外管内,其两端管壁与外管内壁密封连接,所述第一内管设有第一加热元件,所述第二内管设有第二加热元件;两个分路切换阀,分设于所述第一、第二内管两端,用于使所述第一、第二内管以择一方式与外部导通;两个接头,分别连接在所述外管两端,所述接头设有第三加热元件;第一进水口和第一出水口,分设于所述第一内管两端,用于通过第一进水口向所述第一内管中通入清洗介质,并通过第一出水口排出;第二进水口和第二出水口,分设于所述第二内管两端,用于通过第二进水口向所述第二内管中通入清洗介质,并通过第二出水口排出;其中,所述第一‑第三加热元件通过第一‑第三温控模块进行独立加热。
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C23 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面化学处理;金属材料的扩散处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆;金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的
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