[发明专利]一种炉管尾气处理管道有效

专利信息
申请号: 201611059866.5 申请日: 2016-11-22
公开(公告)号: CN106435520B 公开(公告)日: 2018-11-09
发明(设计)人: 张乐成;王智;苏俊铭 申请(专利权)人: 上海华力微电子有限公司
主分类号: C23C16/34 分类号: C23C16/34;C23C16/44
代理公司: 上海天辰知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 31275 代理人: 吴世华;陈慧弘
地址: 201210 上海市浦*** 国省代码: 上海;31
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摘要: 发明公开了一种炉管尾气处理管道,在外管内并列设有第一、第二内管,第一、第二内管独立设有加热元件,并可通过设于其两端的分路切换阀的切换择一地与外部导通,外管两端连接有接头,接头独立设有加热元件,第一、第二内管分别设有进水口和出水口,用于进出清洗介质;本发明可有效减少副产物在管道内的堆积,降低管道堵塞的几率,保护炉管中工艺产品的安全性;并且自带清洗的功能可使得管道在安装后无须经常更换和清洗,减少了设备的宕机时间。
搜索关键词: 一种 炉管 尾气 处理 管道
【主权项】:
1.一种炉管尾气处理管道,其特征在于,包括:外管;第一、第二内管,并列设于外管内,其两端管壁与外管内壁密封连接,所述第一内管设有第一加热元件,所述第二内管设有第二加热元件;两个分路切换阀,分设于所述第一、第二内管两端,用于使所述第一、第二内管以择一方式与外部导通;两个接头,分别连接在所述外管两端,所述接头设有第三加热元件;第一进水口和第一出水口,分设于所述第一内管两端,用于通过第一进水口向所述第一内管中通入清洗介质,并通过第一出水口排出;第二进水口和第二出水口,分设于所述第二内管两端,用于通过第二进水口向所述第二内管中通入清洗介质,并通过第二出水口排出;其中,所述第一‑第三加热元件通过第一‑第三温控模块进行独立加热。
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