[发明专利]一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置

摘要

一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，涉及光束调控光纤消散斑技术，解决现有的激光散斑抑制装置体积结构大、功耗高、结构复杂、操作工艺繁琐的技术问题。本发明由M×N个扫描微镜构成，单个扫描微镜由沿X轴旋转的固定锚点、沿Y轴旋转的固定锚点、沿X轴旋转的扭转梁、沿Y轴旋转的扭转梁和反射镜面组成；在电磁力或静电力等的驱动下，同步控制所有扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；或独立控制单个扫描微镜，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面为圆形镜面、方形镜面、弧形镜面或其它不规则形状。采用本发明的激光散斑抑制装置，在达到同样散斑抑制效果的前提下，具有体积小、功耗低、结构简单、便于集成、操作便捷的优点。

主权项

一种MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置，其特征在于：所述MOEMS激光扫描微镜阵列散斑抑制装置由M×N个扫描微镜(1)构成，其中M、N为任意正整数，单个扫描微镜(1)由沿X轴旋转的固定锚点(1‑1)、沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)、沿X轴旋转的扭转梁(1‑3)、沿Y轴旋转的扭转梁(1‑4)和反射镜面(1‑5)组成；所述沿X轴旋转的扭转梁(1‑3)连接在所述沿X轴旋转的固定锚点(1‑1)和沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)之间，所述沿Y轴旋转的扭转梁(1‑4)连接在所述沿Y轴旋转的固定锚点(1‑2)和反射镜面(1‑5)之间；在电磁力或静电力的驱动下，同步控制所有扫描微镜(1)，实现X和Y方向的扫描，或独立控制单个扫描微镜(1)，实现X和Y方向的扫描；所述反射镜面(1‑5)为圆形镜面。